这一案例也凸显出,在如今竞争白热化的半导体制造行业中,响应速度是核心要素。无论是技术创新、日常生产流程,还是设备故障后的维护抢修,速度都至关重要。尽管当下多数晶圆厂在规划建设时,都充分考量了高可靠性要求,但流体系统仍有可能出现非计划内的维护需求。在行业瞬息万变、竞争不断加剧的背景下,能否快速获取可替换零部件,保障生产与研发工作持续推进,就显得尤为关键。

半导体制造中成本的损耗与节约

在这类故障场景下,晶圆厂能否快速更换、补充关键零部件,直接决定了企业是产生额外损耗,还是实现成本节约。选择合适的流体系统零部件供应商,是晶圆厂维持竞争优势、降低总体拥有成本的关键,具体原因如下:

一、零部件本地供应能力

晶圆厂运营方咨询供应商时,常会问到一个核心问题:“当设备出现问题,你们最快多久可以响应?” 而供应商的响应效率,往往和服务覆盖范围息息相关。

半导体产业具备全球化属性,产业链串联起专业零部件厂商、设备制造商以及分布在全球各地的晶圆厂。这也导致晶圆厂采购流体系统零部件,有时需要跨区域、跨大洲调配物资。在全球芯片供应紧张的大环境下,芯片厂商本就承受着巨大的保供压力,漫长的物资调配时间更是企业无法承受的。

阀门、接头、软管与柔性卡套管、调压阀、过滤器等流体系统核心组件的本地供应能力,一直备受重视。若供应商可从就近站点完成零部件供货,便能有效帮助晶圆厂提升整体运营效率。

二、流体系统装配与维护培训及技术支持

全球供应链受此前疫情影响,各地制造业都面临劳动力短缺问题,半导体晶圆厂也未能幸免。很多企业需要快速完成新员工培训,使其掌握流体系统装配与维护的基础技能,而不少流体系统零部件供应商可提供对应的培训服务。

系统化的培训课程,能够帮助企业团队熟练掌握流体系统装配基础知识,让工作人员具备运维高安全、高可靠性生产系统的专业能力。

半导体制造工艺流程复杂严苛,即便是资深技术人员,操作起来也存在不小挑战,特种气体分配系统便是典型代表。该系统负责将高纯度特种气体从气源输送至工艺设备,必须全程保障输送过程零故障。一旦系统出现异常,就需要供应商提供现场或远程在线故障排查等专业技术支持。

三、适配各系统的高品质组件

绝大多数晶圆厂都清楚,保障芯片制造主设备稳定运行的重要性。但除此之外,厂区内各类流体系统的运行状态,同样会直接影响企业整体收益。厂区内主要流体相关系统包含:1. 大宗气体输送、2. 大宗气体钢瓶、3. 气瓶储存棚、4. 大宗气体储存棚、5. 大宗气体储存、6. 大宗气体处理、7. 气体净化设备、8. 气体处理设备、9. 大宗气体筒仓、10. 大宗气体控制室、11. 气体柜、12. 制冷器隔热软管、13. 气体供应卡套管、14. 特种气体柜、15. 制冷器 / 热交换器、16. 阀组箱、17. 工艺设备、18. 减排。

针对芯片主设备之外的各类应用场景,选用专为工业场景打造的高品质流体系统组件,能够帮助半导体企业规避生产停机风险,减少设备维修、养护、运维等相关开支。各类核心组件的作用如下:

  1. 阀门:高性能隔膜阀、波纹管阀、单向阀,可在设备全生命周期内实现低运维需求,同时完成密封与精准流体控制;
  2. 接头:高品质卡套管接头,可为各类核心系统组件提供可靠的密封连接;
  3. 软管和柔性卡套管:适配温度波动工况的隔热软管,可避免冷凝现象产生,稳定工艺温度,助力提升芯片良率;优质 PTFE 软管、金属软管、复合软管、橡胶软管,可在保障使用安全的前提下,优化流体系统空间布局;
  4. 调压阀:高纯度、大流量紧凑型气体调压阀,能够统筹管控厂区流体系统压力,兼顾生产效率与作业安全;
  5. 过滤器:紧凑型超高纯直通气体过滤器,可有效过滤污染物,避免杂质影响生产良率,同时不占用厂区宝贵空间。

在借助高品质组件优化流体系统的过程中,专业流体系统技术人员的协助能够发挥极大价值。当地销售与服务中心的专业工程师,可上门服务或通过远程沟通,提供技术支持、系统设计建议、故障排查、运维培训、操作规范咨询等服务,全方位提升流体系统运行性能。从设备安装、厂区基建,到特种气体与化学品输送、中央动力车间运维,均可提供全流程流体系统配套支持。