Shower head (喷淋头),被广泛应用半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、 EPI、刻蚀等工艺流程中,是各类气体分配过程中的关键零部件。 

The shower head (gas distribution plate) is a core precision component mounted at the top of the CVD /ALD/ETCH reaction chamber.

产品具有高精度、高清洁度、多重-复合表面处理(如喷砂/阳极氧化/刷镀镍/电解抛光 等集一体)等特征。

喷头在半导体集成电路制造中的物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、蚀刻等工艺流程中得到了广泛应用，是各种气体分配工艺中的关键部件。
该产品具有高精度、高清洁度，并经过多种复合表面处理（如喷砂/阳极氧化/镀镍/电解抛光等）。